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离子束扫视

旁轴模块

旁轴CCD
不颠末任何过剩的光学镜片,成像结果好
镜头选型矫捷,可按照差别的产物自在挑选适合的镜头
光源挑选矫捷,可按照差别产物挑选差别范例的光源
与同轴/伪同轴比拟,因为须要平台的挪动,效力低
体系精度须要叠加平台的精度

旁轴模块

规格参数

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